产品介绍
RE-CREATE, RE-CYCLE Old Equipment, Protecting Our Environment.
零部件
APC
自动压力控制阀门
#Furnace #自动压力阀门
| 产品用途 | |
|---|---|
| 在半导体真空腔体和真空泵之间通过气缸控制保持腔体内部压力的系统，是通过上/下角控制方法使该工程中所需的压力保持恒定的系统。 | |
| 产品特征 | |
| - 使用压力范围: 1.3 X 10^-6 ~ 1.0 X 10^-5 Pa - 阀门压力范围: 1.3 X 10^-9 Pa. m2/s 以下 - 阀门开&关频率：每分钟10次以下 - 绝缘电阻：10M欧姆以上DC500V - 耐电压：认可AC500V时在1分钟内无须发生异常 - 加热器绝缘电阻：外部/内部100M欧姆以上DC500V |
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详细内容
