产品介绍
RE-CREATE, RE-CYCLE Old Equipment, Protecting Our Environment.
零部件
APC
自动压力控制器
#Furnace #自动压力控制器
| 产品用途 | |
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| 为满足半导体真空压力控制工程中所需的条件，通过自主开发的专用程序和电路设计，为稳定保持在工程中所需的腔体内真空压力状态而开发的控制技术产品。 | |
| 产品特征 | |
| - 压力反复程度: ±1% F.S.(”FULL SCALE”) - 压力传感器输入端口数: 2 * P1: 0~133.322Pa, 0~266.644Pa, 0~1.33322kPa, 0~13.3322kPa * P2: 0~133.322kPa - 阀门开关成都设置范围: 0 ~ 28mm - 序列通信过程中的控制设定值: 0 ~ 100.0 F.S.% (F.S. = 28mm 기준) - 缓慢排气到达压力设定范围: 0 ~ 700Torr 또는 0~93.32kPa |
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